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FLOLIA
Table Coater에 의한 코팅은 보편적인 장비에 의한 코팅보다 더 얇습니다. Table Coater는 Glass, 그 밖의 Sheet 기판에 보다 얇고 보다 정확한 Coating을 보장합니다. 획기적인 Nozzle세정과 독특한 제어방식의 Table Coater는 Submicron단위에서 고정밀도의 박막코팅을 보장합니다. 또한 기판 반송기구 와 위치결정(센터링)기구에 의해 자동화에도 대응 할 수 있습니다. 당사 연구소의 Class100 Clean room내에 코팅성능확인을 위해 테스트 장치를 설치 운용하고 있습니다.

특징,사양
1. 풍부한 실적에 기초한 Slot Die Coater을 사용
2. 지금까지 어려웠던 Submicron의 코팅이 가능(0.02~200μm/Dry)
3. 대형사이즈의 기판 또는 Sheet의 코팅도 가능 (MAX. 2200mm폭)
4. 저점도에서 고점도까지 폭넓은 점도범위에 대응 가능(0.001~10Pa?s)
5. 코팅액의 Loss을 최소화한 약액공급 시스템과 코팅방식
6. 폐회로 코팅이기 때문에 코팅액의 특성변화가 없음
7. 코팅속도:5~180mm/sec 8. 코팅정밀도:±3%이내
Table coater
Glass , 플라스틱 또는 그 외의 평판 기재에 고정밀도의 코팅을 가능하게 합니다. Table-coater는 폐회로 die코팅 system을 이용하기 때문에 코팅액의 특성변화가 없이 유지됩니다. Tank로부터 공급된 전량의 코팅액이 기판에 전달되므로 코팅액의 Loss를 최소화 합니다.

특징,사양
1. Spin Coater에 필적하는 고정도 코팅의 실현
2. 대형사이즈의 기판 또는 Sheet의 코팅도 가능(MAX.2200mm폭)
3. 저점도에서 고점도까지 폭넓은 점도범위에 대응가능(0.001~100Pa?s)
4. 박막부터 후막까지 폭넓은 막두께 범위에 대응가능(1~500μm/Wet)
5. 코팅액의 Loss를 최소화 한 절약 설계
6. 폐회로 코팅이기 때문에 코팅액의 특성변화가 없음
7. 코팅속도:5~50mm/sec
8. 코팅Uniformity:±5%이내
   
Continuous Die coater
종이, 필름, foil등의 Roll 형상 기재를 풀고 그 기재들을 연속해서 코팅하는 장치입니다. 유체해석에 기준해서 설계되고 수많은 실제적인 결과를 바탕으로 한 Slot Die을 적용하고 있습니다.

특징,사양
1. 접촉 식 코팅에서 쉽게 발생하는 이물이나 코팅 표면의 불 균일 발생을 줄이기 위해 비 접촉 코팅 방식을 적용.
2. 폐회로 코팅이기 때문에 용제의 증발이 적고 코팅액의 특성변화가 없음.
3. 저점도부터 고점도까지 폭넓은 점도범위에 대응(0.001~100Paㆍs)
4. 박막부터 후막까지 폭넓은 막두께 범위에 대응(5.0~1,000μm/Wet)
5. 저속으로부터 고속까지의 코팅 속도에 대응(0.5~200m/min)
6. 막두께의 조정은 약액 공급 Pump의 회전수와 GAP의 조정만으로 매우
7. Simple 하고 Compact한 구조이기 때문에 유지/점검이 매우 용이 (Slit의 간격조정이 필요 없음)
8. 자동화 코팅이나 Cleaning에 대응 가능
9. Stripe 코팅/동시다층 코팅 등의 적용 예도 풍부 10. 코팅 정밀도:±5%이내
Circle Drawing Coater
Wafer등의 원형기재에 직접 원형으로 전면/전량코팅이 가능한 코팅액 Loss가 없으면서 고정밀도의 Coater입니다. Non-Touch, 폐회로 코팅이기 때문에 깨끗한 환경을 실현했습니다. 또한 Unit화에 따른 코팅Head의 증설이 가능합니다. 본 장비의 사양은 다음과 같습니다. Material size: 외경φ300mm(MAX.) Material shape: 원형 또는 사각형 코팅두께: 1~500μm(WET) 코팅액 점도: 0.001~500Paㆍs